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大型集成電路生產用超純水設備工藝解析

文章作者：萊特萊德發布時間：2022-08-10

大型集成電路生產用超純水設備顧名思義主要應用于集成電路生產用水，該設備引進國外進口元件，結合國內外制水經驗，選用先進的反滲透技術和EDI技術相結合，有效去除水中的各種雜質。大型集成電路生產用超純水設備具有出水水質好，操作簡單，制水效果明顯等特點。

大型集成電路生產用超純水設備工藝

1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光樹脂→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)

2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光樹脂→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)

3、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(新工藝)

4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)

5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統工藝)

大型集成電路生產用超純水設備特點

1、整體化程度高、易于擴展、增加膜數量即可增加處理量。

2、自動化程度高，遇故障立即自停，具有自動保護功能。

3、膜組件為復合膜卷制而成，表現出更高的溶質分離率和透過速率。

4、能耗低、水利用率高、運行成本低。

5、結構合理，占地面積少。

6、先進的膜保護系統，在設備關機，淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈，延長膜壽命。

7、系統無易損部件，無須大量維修，運行長期有效。

8、設備設計有膜清洗系統用阻垢系統。

萊特萊德專注于水處理技術十余年，積累了豐富的水處理經驗。系統中水箱均設有液控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法，使設備與其它同類產品相比較，集成電路用超純水設備具有更高的性價比和設備可靠性。

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